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我國研發(fā)出新型氣體傳感器制備技術(shù)

2020-05-21 10:24:42傳感器專家網(wǎng)閱讀量:3049 我要評論


  【物流設(shè)備網(wǎng) 新品動態(tài)】近日,復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院盧紅亮教授*的團(tuán)隊(duì)*結(jié)合硬模板法、原子層沉積技術(shù)和水熱工藝,在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質(zhì)復(fù)合納米材料,并以此作為氣體傳感器,對濃度低至1ppm的硫化氫實(shí)現(xiàn)了超靈敏和高選擇性的探測。
  
  據(jù)悉,目前常見的傳感器制備技術(shù),是將納米傳感材料印刷或滴涂到陶瓷管或MEMS器件上,*地限制了傳感器的可靠性和可重復(fù)性。因此,一種能夠?qū)⒓{米傳感材料和MEMS微加熱基底無縫集成的制備技術(shù)對于開發(fā)高穩(wěn)定性和低功耗的高性能氣體傳感器至關(guān)重要。
 
  此次,研究人員研究設(shè)計的MEMS式單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線器件在250oC的工作溫度下,對1ppm硫化氫的響應(yīng)(Ra/Rg)高達(dá)6.24,其響應(yīng)變化率(5.24)約為單層有序SnO2納米碗器件的2.6倍,同時具有較快的響應(yīng)/恢復(fù)速度。
 
  同時,研究也證明該MEMS式單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線器件,具有較好的*穩(wěn)定性和可重復(fù)性。多級異質(zhì)結(jié)構(gòu)不僅有效增加了材料的比表面積,提升了材料的氣體吸附能力,同時異質(zhì)結(jié)提高了材料的氣敏響應(yīng)能力。
 
  據(jù)了解,研究團(tuán)隊(duì)的傳感材料原位制備于MEMS器件上,還具有低功耗和可集成化的優(yōu)勢,為氣體監(jiān)測領(lǐng)域開發(fā)高靈敏度、高穩(wěn)定性的氣體傳感器提供了技術(shù)支持。
 
  目前,相關(guān)成果以發(fā)表在期刊Microsystems & Nanoengineering上,此期刊由*電子學(xué)研究所與原Nature出版集團(tuán)合作出版,是原Nature出版集團(tuán)合作出版的*本工程類期刊。
 
  原標(biāo)題:我國研發(fā)出新型氣體傳感器制備技術(shù)
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